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2015年6月17日アスタミューゼフィードバック数:0製造業/エレクトロニクス

「MEMS・マイクロマシン・組込システム」市場

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)は、半導体製造技術やレーザ加工技術など各種の微細加工技術を応用し、微小な機械要素やセンサ、アクチュエータ、電子回路を、概ね1㎝角以下のシリコンやガラス、有機材料などでできた一つの基板上に集積化したデバイスを指す。加速度センサやジャイロセンサなどの各種センサ類、インクジェット・プリンタヘッド、自動車のエアバッグ、プロジェクタなどの調光マイクロミラーデバイスなどに用いられている。1台のスマートフォン

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