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CMP用研磨剤関連技術、特許総合力トップ3は日立化成、米・CABOT、フジミインコーポレーテッド

【CMP用研磨剤】特許総合力トップ3は日立化成、CABOT(米)、フジミインコーポレーテッド 弊社はこのほど、日本に出願されたCMP用研磨剤について、特許分析ツール「Biz Cruncher」を用いて参入企業に関する調査結果をまとめ、レポートの販売を開始しました。 CMP(化学機械研磨)は化学的作用を用いることで機械的研磨の効果を増大させる技術であることから、化学的作用を引き起こすもととなる研磨剤、研磨液はCMP技術において重要な要素となります。本調査ではCMP用研磨剤に関する特許を集計し、各個

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